按照开展业务的地区划分，09年日本市场比上年减少68.3％，为22亿3000万美元。日本市场08年为全球最大市场，但09年却不抵韩国，市场规模排名第四。供货额最大的是台湾市场，比上年减少13.2％，为43亿5000万美元。占全球整体的27.3％。全球最大代工企业台湾台积电（TSMC）09年第四季度大幅增加此前一直控制的投资金额，对台湾市场做出了贡献。台积电计划2010年进行有史以来最大规模的投资，这样估计台湾市场将继续带动整个制造装置市场的发展。